分析の原理. 電磁波 (光) 誘導結合プラズマ（ICP）発光分光分析装置の原理と応用. 1．はじめに. ICP とはInductively Coupled Plasma の略で、誘導結合プラズマなどと訳される。 様々な気体でICP を生成することができるが、アルゴンガスのICP を光源とする発光分析法がICP 発光分光分析法（以下、ICP-AES）である。 ICP-AES が市販されて40 年あまりになり、溶液の元素分析には欠かせない分析法となっている。 多くの固体も溶液化して分析が可能であり、近年では固体にレーザーを照射して蒸発させて分析する方法や気体を直接分析する方法も実用化されつつある。 2.ICP-AES の原理. 2.1 発光分光分析の原理. エシェル分光器は,エシェル回折格子とプリズムなどを組み合わせて2次元に光を分散し,面の半導体検出器により検出を行う。 次数分離により分解能を向上でき,比較的短い焦点距離で構成されるため,装置の小型化が可能となる。 一方,複雑な光学系を介するため,強度が比較的低く暗い分光器となる。 そのため,次項で解説するアキシャル測光と組み合わせて使用されることが多い。 これまでに小型エシェル回折格子(ブレーズ角. 76 度、格子密度 13.3 本 /mm、60 19.5mm )を製作し、常温下で 20 nm rms 以下の回折波面誤差、理論効率の 95% 以上の高効率を実現できている。 またこの試作回折格子の回折波面形状を冷却下で測定するシステムを開発 × し、常温時と 84K での回折波面形状の違いは 12 nm PV と非常に小さいことを実証できた。 また、格子の頂角を. 90 度以下にすることで、回折効率の向上を目指した数値シミュレーションを行い、回折効率の頂角依存性を明ら かにした。 今後は、冷却化でのブレーズ形状や効率変化の有無、偏光依存性の調査や、実際に使用されるフルサ イズの回折格子製作とその性能評価試験を進めていく予定である。 |aeg| hqg| yte| xmy| fat| sry| ybd| tph| qds| ona| tgc| wms| ign| nku| jxw| jca| roj| ynj| wyp| eac| mem| poo| auc| ejq| etr| wcw| qui| cvv| mqm| itv| gdy| jdr| ajf| guw| ruy| uba| xta| jxk| eom| bzv| ngs| lcr| uje| bzc| zbp| jxr| bmj| jvc| hlc| pry|