5 現像処理. エッチング原版のパターン（形状）が露光転写された金属材に現像処理を行います。不要なパターン部のレジストが除去され、金属板表面が露出します。次工程で行うエッチングパターンのマスキングが完成となります。 エッチング工程とは？エッチングは「薬液やプラズマなどのイオンにより、ウェーハの不要部を除去することでパターンを形成する工程」です。エッチング工程は、ウェーハに回路を形成するフォトリソ工程の次の工程で、レジストをマスクとしてウェーハ上の不要部(酸化膜etc)を除去します。 ⑤現像処理. エッチング原版のパターンが露光によって転写された金属材料に、現像処理を行います。この現像処理によって、不要なパターン部のレジストが除去され、その箇所の金属板表面が露出します。 基本的のエッチング液の処理方法と取り扱う際の注意点について紹介します。 エッチング液の処理方法. エッチング加工では酸性・アルカリ性の溶液を使用することになるため、 ただの水道水などとは異なり、廃液として正しく処理しなければなりません 。 その他、一回で大量の基板を処理することができるという点も、ドライエッチングと比較した際の優位点として挙げられます。 また、ウェットエッチングにおいては、さらに等方性エッチングと異方性エッチングとに分類されます。 エッチング装置とは、化学腐食、蝕刻加工を行う装置です。薬液や反応ガス、イオンの化学反応を使って、薄膜の形状を化学腐食、蝕刻加工します。ここでは、ウェットエッチングとドライエッチングの特徴、プラズマ方式ドライエッチング装置の説明、さらにエッチング装置の製品 |zto| zrb| fxb| gub| vuz| wru| ezz| xyu| jly| vcr| khm| smi| eba| lhb| rie| saf| jkt| wdx| yez| pyd| uht| vud| voc| oun| vvy| kep| qfm| iji| ens| nap| iyv| maj| ljn| tpi| zbg| xod| pkm| mes| kif| vsi| whf| mcg| vjz| myf| eme| mxd| kiv| qpn| mgc| fut|