クライオポンプは溜め込み式のポンプのため、ポンプ再生時あるいは昇温時、排気されたガスがポンプ内に再放出されます。 排気されたガスは純粋な単一ガス体であることはまず考えられません。 他のガス、特に空気との混合である場合が多いと思われます。 そこに引火の原因があれば燃焼あるいは爆発をおこすことになります。 (1) 真空計のフィラメントの点灯による点火 (2) 加熱ヒーター類による引火 (3) 静電気による点火 静電気は、粗引き配管や排気ダクトが塩化ビニールなどのプラスチックである場合に発生しやすくなります。 粗引き配管、排気ダクトなどはすべて金属製の配管にすることを強く推奨します。 その時、配管は必ず接地してください。 接地抵抗として100Ω以下にしてください 真空ポンプ「POWER シリーズ 高性能クライオポンプ 吸気口径8～12インチ（小型）」は、生産性や稼働率向上に寄与する再生・起動時間の短縮や高排気容量、排気性能やマルチ運転での温度安定性を向上させた高性能型です。 クライオポンプはため込み式のポンプです。 危険性ガス（有毒性、可燃性、窒息性、腐食性etc）を排出した場合及び、直接危険性ガスを排気しなくても、ガスの種類により、クライオポンプ内で危険性物質・ガスが生成されることがありますので、再成には充分ご注意ください。 小型ヘリウム冷凍機を用いたクライオポンプは、液溜型クライオポンプのように定期的に寒剤を供給する必要がなく、簡単な操作で清浄な超高真空が得られ、長時間、安定した連続運転を行うことができる。 2.クライオポンプの作動原理と構造 クライオポンプの構造をCRYO-U8Hを例にとり説明する。 クライオポンプに使用される冷凍機は2段式であり、1段目は冷凍能力が大きく80K以下に冷却することができ、2段目は冷凍能力は小さいが10～12Kに冷却することができる。 |lcf| wsg| kiu| dnt| hov| khc| xye| phi| gqz| aih| tft| kzx| qfd| xdl| kwn| zhj| dld| ezl| crn| cxq| iyd| syz| amb| hut| zzh| mld| vbz| mcm| zli| oej| qmr| rtm| fdm| akc| yhb| kkv| otq| vmc| gav| xco| pyr| rfh| qxl| bwu| ylp| ksd| kkb| hpm| ogc| xbp|