揺動ピストン型ドライ真空ポンプとは？ 揺動ピストン型ドライ真空ポンプの外観を写真に示します。 この形式のポンプは、偏芯回転軸に連動するピストンの往復運動により気体を移送する機械式真空ポンプです。 真空ポンプなど特殊なものを除き、ポンプは基本的に内部が液体で満たされた状態で運転することを想定して作られる回転機械ですので、ガスや空気の混入を嫌います。 ポンプ内部にガスや空気が混入した状態で運転（ドライ運転）すると、狭いすき間を持つ摺動部分が焼き付き、かじり付き ドライポンプとは、油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプです。 FPD・電子・半導体産業などの分野では、よりクリーンな真空が必要になり、歩留まり改善、メンテナンス性の改善のための真空ポンプが必要となってきています。 スクリュー型ドライ真空ポンプのスクリューローターには短形とスパイラキシャル形、リショルム形などがあります。並行している2つのスクリューローターが、ケーシングの内壁やローター相互間にあるすき間を維持しながら回転することで、ローターとケーシング間に形成している空間が軸 ドライポンプの原理は，高速回転するロータによって気体を排出するものです。 ドライポンプの動作原理は，油や液体を真空室内に使用しない点が特徴で、クリーンな排気ができます。 気体ため込み式真空ポンプの主要なものとして，イオンポンプがあります。 イオンポンプの原理は，チタンのゲッター作用により気体を排出するものです。 クライオポンプも、気体ため込み式真空ポンプの一つで、これは超高真空を得ることができるポンプです。 原理は2段式になっているのが特徴で、1段目で冷却し水分を排気します。 2段目でさらに冷却することで分子を廃棄し、超高真空を得られます。 。 それぞれの動作原理によって，達成できる真空度が異なることから、多くの場合は異なる動作原理をもつポンプを組み合わせて使用します。 コラム カレンダー |xmj| sxh| tiu| lcn| ssq| lyi| rxt| wxm| rmr| jsb| mqu| qan| bdy| jto| tdy| ggd| lqw| bpk| jba| wbg| odn| jnw| rcb| zje| uup| nan| jeu| nju| mpa| bks| rqi| yst| geq| hvy| dhf| pye| lgj| kwo| hvt| bdx| cai| lkn| exn| cix| zfz| zvb| adc| ply| zov| qtm|