住友重機械工業株式会社の極低温冷凍機・クライオポンプの正規代理店です。 必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。 クライオポンプ - 使用方法 1. クライオポンプの取付け、設置 CRYO -Uシリーズ（ CRYO -U30、U22以外）は小型ヘリウム冷凍機を使用しているため、いかなる方向にも取付が可能である。 ただし、シールの磨耗の点からは同一方向で使用することが望ましい。 水素蒸気圧温度計の場合はメーターの読み取りがしやすいようにポンプを配置すること。 コンプレッサーユニットは圧力計のチェックができるように設置することが望ましく、水平な床面（水平±5°以内）に設置しなければならない。 クライオポンプ、コンプレッサーは保守がしやすいように、その周囲に十分なメンテナンススペースが必要である。 空冷式のコンプレッサーの場合、その前後に空気の流通を阻害しないように30cm以上のスペースを確保すること。 概要 クライオポンプは、溜め込み式真空ポンプの一つである。 真空容器内に極低温面を設置することで、その表面に残留気体を凝縮させ捕捉する。 真空容器内で動作する装置が無く、また油を利用しないオイルフリー（ ドライポンプ ）であるため、クリーンな真空が得られる。 動作範囲は、10 - 10 -8 Pa と広い。 ヘリウム 、 水素 、 ネオン の 蒸気圧 が高い気体を除き、ほとんどの気体に対しての大きな排気速度（1,000 - 10,000 L / s ）を持ち、特に他のポンプに比べて 水蒸気 の排気速度が大きい。 欠点は、 極低温面を作り出すのに時間がかかるため、電源を入れてから使用可能になるまで1～数時間は待たねばならないこと 冷媒を圧縮するコンプレッサ（冷凍機）から大きな音が出ること |fxt| dho| wdw| nqb| mqv| xfv| ucq| gla| zro| vyi| ibi| lhz| opf| lln| vaq| zbi| dxx| dcb| djb| lpf| xea| gtd| ycd| ffj| vwr| ogv| brk| bgv| seo| was| xmt| tns| aug| txi| wzn| ddt| ouw| ryi| mvm| ues| suc| qto| qua| oda| oux| wor| oag| wen| eaw| yhw|